マスフロー(質量流量)
マスフロー(質量流量)とは

マスフローとは、質量流量を意味する言葉で、一般的にはマスフローコントローラやマスフローメーターといった流量制御機器や測定機器を指すことが多いです。
マスフロー(質量流量)の主な用途
マスフローの主な用途は以下になります。
・質量流量を測る:
体積ではなく、単位時間当たりの物質の重さ(質量)を測定します。
・温度や圧力に影響を受けにくい:
温度や圧力などの環境条件が変わっても、正確な流量を測定できます。
・高精度な制御が可能:
測定した流量に基づいて、流体の流量を精密に制御できます。
・質量流量を測る:
体積ではなく、単位時間当たりの物質の重さ(質量)を測定します。
・温度や圧力に影響を受けにくい:
温度や圧力などの環境条件が変わっても、正確な流量を測定できます。
・高精度な制御が可能:
測定した流量に基づいて、流体の流量を精密に制御できます。
■マスフロー(質量流量)の種類
マスフローの主な種類は以下になります。
マスフローコントローラの種類
熱式マスフローコントローラ:
温度変化を利用して流量を測定するタイプです。
コリオリ式マスフローコントローラ:
振動を利用して流量を測定するタイプです。
熱式マスフローメーターの種類
熱式マスフローメーター:
測定管内にヒーターを設置し、流体が流れることで発生する熱量を測定することで流量を算出します。
コリオリ式マスフローメーター:
流体を通す管を振動させ、コリオリ力によって生じる振動の位相差から流量を測定します。
超音波式マスフローメーター:
測定管内に超音波を送受信し、流体速度から流量を算出します。
バイブレーション式マスフローメーター:
測定管を振動させ、その振動特性の変化から流量を測定します。
熱線式マスフローメーター:
測定管内に熱線を設置し、流体が熱線に与える冷却効果から流量を測定します。
■マスフロー(質量流量)の代表的なメーカー
堀場製作所、アズビルなど。
■マスフロー(質量流量)の価格
小型でシンプルなマスフローメーター: 数万円から数十万円。
高精度なマスフローコントローラ: 数十万円から数百万円。
産業用の大型マスフローコントローラ: 数百万円以上。
■商品リスト
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